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企业及两个项目入选“一条龙”应用示范企业和示范项目
编辑:张青银 发布日期:2019-01-04

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2018年12月29日,工信部正式公布《2018年工业强基工程重点产品、工艺“一条龙”应用计划示范企业和示范项目名单》,黄河企业及其“电子级高纯多晶硅工艺系统升级改进项目”“用于芯片硅外延制造的三氯氢硅产业化研究”两个项目毫无悬念地上榜。黄河企业及其晶硅材料和特种气体两个项目同时入选示范企业和示范项目名单,也是必发365网站集团和青海省唯一入选的企业和项目,将获得国家的重点支撑。

国家为推进落实《中国制造2025》,切实解决工业基础产品和工艺应用难题,实施工业强基工程重点产品、工艺“一条龙”应用计划。在存储器领域,从上游材料、生产设备、制造工艺平台、下游应用等四个方面推动基础领域发展与产业应用良性互动。

电子级多晶硅作为存储器最前端的基础原料,高纯度三氯氢硅作为硅片外延用基础材料,是存储器制造不可缺少的基础关键材料。

2010年,黄河企业建成年产2500吨电子级多晶硅项目,采用世界上先进、成熟的改良西门子法电子级多晶硅生产工艺,技术先进、成熟、可靠。产品通过CZ 或FZ 法等技术制成单晶并切片后,可制成6 英寸、8 英寸、12 英寸不等的半导体硅片,继而用于制作半导体器件或集成电路,是存储器“一条龙”产业链的上游基础材料。

2014年,依托已经建成的电子级多晶硅生产线,黄河企业承担了《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发,于2015年12月完成专项攻关,产品质量达到国外主要电子级多晶硅生产企业质量标准,填补了国内半导体应用材料国产化的空白。

目前,国内用于集成电路产业的电子级多晶硅85%依赖进口。黄河企业生产的电子级多晶硅产品质量超过GB/T12963-2014 电子1级多晶硅要求,产品成功通过下游企业12 英寸半导体单晶硅片试制、测试、评估,成为国内第一家完成12英寸硅片验证的企业。

自2014起,连续四年批量应用于国内3-8英寸半导体硅片生产企业,占国内市场15%,是国内唯一一家批量生产且拥有市场占有率的多晶硅企业,成功打破了国外垄断,摆脱了我国集成电路产业关键集成原材料受制于人的局面,提高集成电路产业上游关键基础材料的战略安全,保障了包括存储器在内的集成电路产业链发展。为持续改进产品质量,进一步提高产能、降低成本,黄河企业目前正在实施电子级多晶硅工艺系统优化升级改进项目。

企业还积极开发高纯三氯氢硅生产及提纯技术,特种气体三氯氢硅的各项技术指标均可满足集成电路外延硅片用要求。硅外延片是存储器制造的重要原材料,在硅外延片的制造过程中,高纯电子特种气体三氯氢硅可作为主要原料,通过化学气相沉积法在单晶衬底上生长一层外延层。三氯氢硅在硅外延片制造过程中,具有生长速率快,使用安全的特性,在硅外延片制造领域有着广泛的应用。

本项目三氯氢硅特种气体的研究应用,与存储器制造的上游原材料—芯片硅外延制造有着直接的关联,是存储器“一条龙”产业链不可或缺的重要环节。

此次入选,是企业电子级多晶硅及其相关技术的国内领先地位再次获得国家部委的确认和肯定。企业将以入选工艺“一条龙”应用示范为新的契机,加快工艺系统优化改进,进一步提升产品质量,扩大国内市场份额,加强与下游产业应用的技术对接与协作,为保障国家电子信息产业战略安全作出贡献。


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